高纯度甲基三氯硅烷(MTS)

无色和透明的液体,沸点约为66℃,密度1.273g /ml(在25℃),挥发性和分解时与水接触以形成盐酸和白色沉淀物。它具有低闪点(5°F),是易燃液体。必须严格将其存放在远离水的密封容器中。

物理和化学特性

  •  裂解响应:与水的快速反应形成盐酸和多硅氧烷。

  • 酒精分析反应:与醇反应形成烷氧基硅烷。

  • 与氨/氨的反应:氨基硅烷的形成。

  •  可还原:可以通过氢化锂(lialh₄)将其还原为甲基硅烷(CH₃SIH₃)

  •  热耐力:它可以在高温(> 300°C)下破裂以释放HCl或形成Siloxane。





应用

半导体行业:碳化硅(SIC)膜和低κ介电层的化学蒸气沉积(CVD)前体。

硅胶合成:交联的硅树脂,树脂和疏水涂层的基础。

表面处理:将水驱除到玻璃,陶瓷和填充剂上。

烟雾二氧化硅生产:制造高纯二氧化硅纳米颗粒的中级。

包装和存储

该容器由316升不锈钢制成,容量有三种尺寸:45L,250L和900L,分别可容纳45公斤,250kg和1000kg。 1/2“和1/4” VCR接口阀有两种类型的规格。我们还根据包括ISO-Tank在内的客户的特定要求提供不同的包装和接口。

技术指标

成分/杂质名称产品规格 

纯度≥99.99%(基于金属杂质) 

三甲基甲硅烷基氯化物

四氯化硅

总金属杂质

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